CMI900镀层测厚仪介绍
有着非破坏,非接触,多层合金测量,高生产力,高再现性等优点,在质量管理到不良品分析有着广泛的应用。用于电子元器件,半导体,PCB,汽车零部件,功能性电镀,装饰件,连接器等多个行业。
CMI900镀层测厚仪主要特点
样品种类:镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量) 可检测元素范围:Ti22 – U92 可同时测定5层/15种元素精度高、稳定性好强大的数据统计、处理功能测量范围宽 NIST认证的标准片全球服务及支持
CMI900镀层测厚仪技术参数
X射线激发系统 垂直上照式X射线光学系统空冷式微聚焦型X射线管,Be窗标准靶材:Rh靶;任选靶材:W、Mo、Ag等功率:50W(4-50kV,0-1.0mA)-标准 75W(4-50kV,0-1.5mA)-任选装备有安全防射线光闸二次X射线滤光片:3个位置程控交换,多种材质、多种厚度的二次滤光片任选准直器程控交换系统 最多可同时装配6种规格的准直器多种规格尺寸准直器任选:-圆形,如4、6、8、12、20 mil等-矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
测量斑点尺寸 在12.7mm聚焦距离时,
最小测量斑点尺寸为:0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm准直器) 在12.7mm聚焦距离时,测量斑点尺寸为:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器) 样品室 CMI900 CMI950 -样品室结构 开槽式样品室 开闭式样品室-样品台尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm -XY轴程控移动范围 标准:152.4 x 177.8mm 还有5种规格任选 300mm x 300mm -Z轴程控移动高度 43.18mm XYZ程控时,152.4mm XY轴手动时,269.2mm -XYZ三轴控制方式 多种控制方式任选:XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制-样品观察系统 高分辨彩色CCD观察系统,标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。激光自动对焦功能可变焦距控制功能和固定焦距控制功能计算机系统配置 IBM计算机惠普或爱普生彩色喷墨打印机分析应用软件